ICP-MSやAASによる薬液中の不純物微量分析に加え、ウエーハ表面の汚染度分析や、クリーンルーム清浄度分析について長年実績があります。即日対応等の特急対応も可能です。
VPD
ウエーハ表面の熱酸化膜を弗酸蒸気で溶解し、ウエーハの汚染度を測定する分析、気相分解法
WSA
ウエーハ表面の自然酸化膜を弗酸・過水で溶解し、ウエーハの汚染度を測定する分析
TLA
ウエーハ上の構成物質を特殊な薬液で溶解し、ウエーハの汚染度を測定する分析
水・薬液
液体中の不純物（陰イオン・陽イオン・パーティクル）の測定や、構成薬液の濃度を測定する
環境
クリーンルーム内の大気に含まれる汚染物質をベルジャーにて回収（水中捕集）し、CR清浄度の評価を行う測定