半導体業界に限らず、電子材料業界向けに特化した、高純度無機薬液混合物については各種の実績があります。

ウエーハ業界

インゴット洗浄＆ウエーハエッチの酸系混酸やアルカリエッチへの添加剤の実績があります。

  • KD-17：2種（弗硝）・3種（弗硝酢）混酸
  • TSC-1/TSC-S：アルカリ用添加剤、低粘度＆高レート化、高純度品
  • PC-DH2：アルカリ用添加剤、低発泡性

半導体デバイス業界

メモリ、ディスクリート、システムLSI、センサー、全てのデバイスに対して、特殊機能に特化した薬液が多数あります。

  • CMKシリーズ：各種メタルの選択性エッチング液、超高純度混酸
  • NC-1C：高純度アルカリ洗浄液
  • DUMS/PURMS：再生可能レジスト剥離液

液晶パネル業界

高精細中小型パネル向けに長年の実績があります。

  • CMK-201：アルミエッチャントの世界標準品
  • CMK-123：１液タイプのカッパーエッチャント
  • AC-1：ESD 防止用特殊溶剤

その他

高周波モバイル通信デバイスやプリント基板向け等、特殊用途での混酸実績があります。

  • HP-73KRH：特殊混合シンナー
  • NMP：レジスト剥離用溶剤